國內首個“IC設備關鍵零部件集成制造技術與加工平臺”日前順利通過驗收。該國家科技重大專項由沈陽富創精密設備公司承擔，該公司董事長鄭廣文說，這是我國IC設備零部件國產化進程邁出的重要一步，打破了該領域核心零部件長期依賴國外高價進口的局面，可以降低同類集成電路的裝備采購成本約40%。

我國集成電路產業需求已占到全球一半以上，但我國集成電路產業的供給能力只能滿足國內市場需求的1/10。長期以來，我國IC設備生產企業普遍面臨關鍵零部件采購成本高、周期長等問題，迫切需要實現零部件和集成制造的本土化。該公司所在的沈陽IC裝備產業園聯合中科院沈陽科學儀器股份有限公司、中科院沈陽自動化所等單位，圍繞IC設備金屬類零部件高效精密加工等8個課題展開技術攻關與平臺建設，突破了一系列技術難題。

目前，該公司已建成集精密機械加工、特種表面處理、精密焊接于一體的IC設備精密零部件綜合服務平臺，通過多項國際先進的表面處理制程認證以及世界IC設備整機龍頭美國應用材料和東京電子公司的40余項考核，并被其列為戰略供應商。從2011年至今，沈陽IC裝備產值年均復合增長率超過100%。